BANERJI, N.; SERRA, J.; CHIUSSI, S.; LUSQUIÑOS, F.; LEÓN, B.; PÉREZ-AMOR, M. a-SiN:H films modified by ArF excimer laser irradiation. Revista de Metalurgia, [S. l.], v. 34, n. 2, p. 164–169, 1998. DOI: 10.3989/revmetalm.1998.v34.i2.682. Disponível em: https://revistademetalurgia.revistas.csic.es/index.php/revistademetalurgia/article/view/682. Acesso em: 19 apr. 2024.