Revista de Metalurgia, Vol 46, No Extra (2010)

Evaluación del espesor de capas delgadas mediante análisis EDS y simulación de Monte Carlo


https://doi.org/10.3989/revmetalmadrid.10XIIPMS

J. C. García
INASMET-Tecnalia, España

F. Peñalba

Resumen


En este trabajo se presenta un método de evaluación de espesores de capas delgadas mediante la técnica de energías dispersivas de rayos X (EDS). Las medidas analíticas de las áreas de los picos característicos de los elementos detectados en las capas, obtenidas mediante esta técnica, se complementan con simulaciones de Monte Carlo de las trayectorias de los electrones en el volumen de interacción. Esto, junto con las estimaciones de la intensidad de los picos característicos obtenidos mediante el algoritmo de Bethe, Joy & Luo, posibilita realizar la estimación de los espesores de las muestras analizadas.

Palabras clave


Capas finas nanométricas; Monte Carlo; EDS; Aceros; Materiales metálicos

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Referencias


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