Recubrimientos duros de TiN como candidato a material de referencia para la metrología de superficies en química: caracterización y cuantificación mediante técnicas de análisis de superficie y de volume
DOI:
https://doi.org/10.3989/revmetalm.231Palabras clave:
ANOVA, Caracterización de materiales, Metrología, Recubrimiento TiNResumen
Este estudio presenta la síntesis y caracterización de recubrimientos duros de TiN como material de referencia candidato para la metrología de superficies en química. Los recubrimientos de TiN se cultivaron en una oblea de silicio con orientación (111) usando deposición con magnetrón reactivo dc. La difracción de rayos X confirma que los recubrimientos de TiN son policristalinos, la microscopía electrónica demuestra que los recubrimientos de TiN presentan granos de forma piramidal que van desde la escala sub-micrométrica hasta la nanométrica y con un espesor promedio de 666 nm. Según los resultados de micro-Raman, la presencia de modos de fonón LO confirma que los recubrimientos de TiN son de naturaleza cristalina y no se detectan impurezas. Las propiedades mecánicas a nanoescala se evalúan utilizando microscopía atómica de fuerza acústica de seguimiento de resonancia. La composición química del TiN revela una relación atómica cercana a 1:1. El ANOVA se utiliza para evaluar la homogeneidad del TiN mediante una prueba de homogeneidad según la Guía ISO 35:2017, mientras que, en cuanto a la composición química del Ti, la prueba de Fisher demuestra que el lote puede considerarse homogéneo.
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