Revista de Metalurgia, Vol 34, No 2 (1998)

Micromecanizado de Al2O3-TiC mediante láser de excímero


https://doi.org/10.3989/revmetalm.1998.v34.i2.691

V. Oliveira
Dpt. de Engenharia de Materiais, Instituto Superior Técnico, Portugal

R Vilar
Dpt. de Engenharia de Materiais, Instituto Superior Técnico, Portugal

O. Conde
Dpt. de Física, Fac. de Ciencias. Univ. de Lisboa, Portugal

Resumen


Se estudia el micromecanizado de cerámicas Al2O3-TiC mediante un láser de excímero de KrF con un rango de fluencia de 2 a 8 J/cm2 . La velocidad de ablación disminuye y la rugosidad aumenta con los primeros pulsos. Sin embargo, después de 200 pulsos, el proceso alcanza el régimen estacionario, donde tanto la rugosidad como la velocidad de ablación permanecen constantes. La observación mediante SEM de determinadas áreas mostraban una topografía globular formada durante la primera etapa, mientras que con los siguientes pulsos permanece in cambios. Esta topografía globular es responsable de la variación de rugosidad y de la velocidad de ablación observada durante las primeras etapas del proceso. Los análisis de EDS sobre las zonas globulares mostraron la existencia de una región externa rica en titanio y un núcleo formado por el material sin afectar.

Palabras clave


Láser de excímero; Micromecanizado; Ablación; Cerámicas; Al2O3-TiC

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